半导体制造是电子工业的 “金字塔尖”，设备对传动精度的要求达到纳米级，斜齿减速机-行星减速机是实现这一精度的关键。

　　晶圆搬运与传输系统

　　晶圆（硅片）在光刻、刻蚀、沉积等工序间的搬运依赖精密机械臂，其关节处需紧凑且高精度的传动。

斜齿减速机-行星减速机的低背隙和高刚性可确保机械臂重复定位精度≤±0.1mm，避免晶圆碰撞或位置偏移；同时，紧凑结构适合真空腔体内的狭小空间（半导体设备常需真空环境）。

　　光刻机工作台驱动

　　光刻机是芯片制造的核心设备，其晶圆工作台需实现纳米级步进与扫描运动（如 ASML 光刻机工作台定位精度≤5nm）。

斜齿减速机-行星减速机与伺服电机配合，将电机的高转速转化为低转速高扭矩，同时通过高刚性齿系抵消负载波动（如晶圆重力、扫描时的惯性力），避免传动变形导致的轨迹偏差，直接影响芯片制程精度（如 7nm、5nm 工艺对轨迹误差的容忍度极低）。

　　离子注入机 / 薄膜沉积设备

　　离子注入机需精确控制晶圆的旋转速度与角度（确保离子均匀注入），薄膜沉积设备需控制喷头与晶圆的相对位置精度。

斜齿减速机-行星减速机的高动态响应（通过优化惯性匹配）可实现快速启停，配合伺服系统的闭环控制，确保运动过程无超调。